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151.
本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。 相似文献
152.
聚乙烯丙纶复合防水卷材的特点及其应用 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了聚乙烯丙纶复合防水卷材的产品结构特点和性能特点、防水系统结构特点和配套材料、应用拼接技术以及产品应用范围。 相似文献
153.
喷射沉积SiCP/Al复合材料及6066铝合金热挤压工艺的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
作者应用喷射共沉积工艺制备 6 0 6 6 / Si Cp复合材料和 6 0 6 6铝合金锭坯 ,在不同的挤压比、挤压温度下挤压成 型 ,用金相显微镜观察材料的显微组织 ,并测试了材料的力学性能。结果表明 :Si C/ Al复合材料喷射沉积状态的组织很疏松 ,存在许多的间隙 ,其密度约为理论密度的 86 % ,Si C颗粒在复合材料中分布不均匀 ,喷射沉积铝合金基体的致密度可达 90 % ;挤压过程使 Al/ Si Cp复合材料的大多数空隙消失 ,致密程度随挤压比的增大而增大 ,挤压比超过 14 .7后不会明显变化 ,而铝合金基体的致密程度与挤压比的变化关系不明显 ;挤压温度对材料的致密程度影响不大 ;Al/ Si Cp复合材料性能在挤压比超过 14 .7后变化不大 ;铝合金的性能不受挤压比变化的影响 ;而挤压温度过高使材料性能下降 相似文献
154.
155.
In this paper, we examine, both experimentally and theoretically, the kinetics of formation and microstructure of product
phases in thin film reactions, using the Nb/Al and Ti/Al systems as our prototypes. The results of calorimetry and microscopy
studies are interpreted using simple kinetic and morphology models. In particular, the kinetic models employed here focus
on the nucleation and growth components of the phase formation process and the morphology models provide a starting point
for the classification of product grain structures.
An erratum to this article is available at . 相似文献
156.
主要研究带钛合金连接头硼/铝复合材料管构件中B-Al-Ti间的界面结构与性质。研究表明,在复合工艺条件下,硼-铝界面附近没有检测到任何铝-硼化合物,而钛-铝间形成TiAl有序金属间化合物相。实验证明,硼/铝复合材料与铝合金端环之间采用的固结方法是有效的,且可按照受载类型随意调整斜面搭接长度,达到承受不同载荷的目的。 相似文献
157.
提出了溅射-气体-聚集共沉积制备金属/金属(介质)复合团簇镶嵌薄膜的新方法,并利用该方法成功地在方华膜衬底上制备了系列Fe/Ag及CaF2复合团簇镶嵌薄膜样品。透射电镜分析结果表明,样品中Fe(Cu)团簇都较好地镶嵌于Ag(CaF2)基质中,其结构为两种材料的多晶共存形态。进一步分析发现,与块材相比,Fe/Ag样品中Fe团簇晶格常数呈现出不同程度的收缩,而Cu/CaF2样品中Cu团簇晶格常数则呈现出不同程度的膨胀。运用附加压力的模型对该现象进行了解释。 相似文献
158.
WC对Cu/WC_P复合材料性能及组织的影响 总被引:8,自引:0,他引:8
通过WC含量对WC/Cu复合材料性能的影响,确定了冷压-烧结法制备Cu/WC材料的适宜WC含量为10vol%左右。并就WC对该材料组织和再结晶行为的影响进行了有益的探讨。 相似文献
159.
利用挤压铸造制备氧化铝/锌合金复合材料,在扫描电镜(SEM)上观察复合材料的界面。结果表明,在复合材料中纤维与基体间存在致密界面层,合金元素通过适当的化学反应可改善纤维与基体间的结合;在凝固过程中,纤维/基体界面上的硅在共晶体的共生生长过程中起了领先相作用,导致复合材料的共晶转变是由铝硅共晶转变和锌铝共晶转变两者组成。 相似文献
160.